Aprašymas
Aprašymas
MOCVD grafito susceptorius yra svarbus metalo{0}}organinio cheminio nusodinimo garų nusodinimo (MOCVD) sistemų komponentas. Jis tarnauja kaip aukštos temperatūros, šilumai laidži platforma, skirta saugiai laikyti ir tolygiai šildyti puslaidininkinius substratus plonų plėvelių epitaksinio augimo metu.
pakavimas ir pristatymas
Medinės dėžutės pakuotė
funkcija
- Puikus šilumos laidumas užtikrina greitą ir tolygų šilumos perdavimą
- Didelis mechaninis stiprumas ir matmenų stabilumas ekstremaliomis sąlygomis
- Lygus, tiksliai apdorotas paviršius stabiliam pagrindo išdėstymui
- Sukurta daryti įtaką dujų srauto dinamikai ir šiluminiams gradientams
pranašumas
- Užtikrina vienodą plėvelės storį ir puikią kristalų kokybę epi{0}}sluoksnyje
- Įgalina aukštą proceso pakartojamumą ir našumą dėl stabilios substrato temperatūros kontrolės
- Prailgina tarnavimo laiką ir sumažina dalelių užterštumą dėl atsparumo korozijai
- Nepaisant pasikartojančių šiluminių ciklų, išlaikomas konstrukcijos vientisumas, užtikrinant proceso patikimumą
taikymas
- Pirmiausia naudojamas MOCVD reaktoriuose sudėtinių puslaidininkių sluoksnių (pvz., GaN, GaAs, InP) epitaksiniam augimui ant substratų, tokių kaip silicis, silicio karbidas ar safyras.
- Būtinas gaminant optoelektroninius įrenginius (LED, lazerinius diodus) ir radijo dažnio (RF) puslaidininkius.
Populiarus Žymos: grafito susceptorius, Kinijos grafito susceptorių gamintojai, tiekėjai, gamykla